⑴对被审计单位内部控制制度取得了解的程序。根据审计准则要求，注册会计师每次进行会计报表审计时都必须执行对被审计单位内部控制制度取得了解的程序，以了解内部控制制度如何设计、运作方式，以便充分合理地计划审计工作。
⑵符合性测试程序。它是为了获取审计证据，以证实被审计单位内部控制政策和程序设计的适当性及其运行的有效性。在符合性测试中，注册会计师可以大量运用观察方法和审阅方法，即审阅被审计单位有关内控制度的各种手册、文件，观察某一项制度的执行情况，当然还可以运用询问内控制度执行情况，或是注册会计师重新去执行某项控制程序。由于符合性测试的范围和控制风险估计水平有关，如果控制风险水平为很高时，注册会计师可以执行很少的甚至可以忽略符合性测试程序。
⑶实质性测试程序。它包括注册会计师实施对交易和余额的详细测试以及对财务数据和非财务数据应用情况进行的分析性测试。实施这类程序可取得证实管理当局会计报表认定是否公允的证据。在对交易和余额的详细测试中可以运用检查、监盘、观察、查询及函证和计算等单个的程序，详细测试和分析性测试各有其独特作用，二者不可相互替代。在每次会计报表审计中必须执行实质性测试程序。
由此不难看出，取得对内部控制制度了解的程序、符合性测试程序、实质性测试程序这三类程序的实施有着不同的目的和要求，它们也分别体现了审计工作的进程。检查、监盘、观察、查询及函证、计算和分析性复核根据需要可分别在不同审计过程中予以实施，是一种单项的审计程序。
