更换Bi源思维导图

U264811233

2024-04-24

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负离子模式聚焦检查

佳亮度

保存参数文件

医用氧源更换流程介绍

树图思维导图提供《更换Bi源》在线思维导图免费制作，点击“编辑”按钮，可对《更换Bi源》进行在线思维导图编辑，本思维导图属于思维导图模板主题，文件编号是：7554f401a2a088e74ae69bfe70cc3f01

思维导图大纲

高压测试

1、Energy到30kV，Extractor到15kV；2、suppressor 2kV；3、lens source3kv；

按照Energy\Extractor\suppressor\lens source 顺序归零

加载heating值

直接拉到1.5A

1.5A到标签值之间，每分钟加载0.1A

标签值➖0.4到标签值，每两分钟加0.05A

加spectrometry，调ex让SU在500~1000V之间，check，只要在标签值±0.2之间即可。

调Bi Spectrometry mode

准备阶段

真空度小于5E-7

给analyzer通电

加载analyzer下的all purpose文件

离子源对中

LMIG->Source->Scope

ap1波形居中

拧滚轮让双峰对称

调节lens source让波形变矩形

拧法兰，让X,Y source<±10%

同样办法调ap2

正离子模式测束流

准备阶段

cycle time 100 μs

打√LMIG

调大cup电流

调节lens source&XY blanking使得cup电流最大

消除aperture 1短边的波形毛刺

width设置20%

调小lens source

测不同种类的离子束流

关掉scope

调节width使得B1+ 1PA，B3 0.35PA, B++ 0.35PA

负离子模式测束流

准备阶段

cycle time 100 μs

打√LMIG

调大cup电流

调节lens source&XY blanking使得cup电流最大

消除aperture 1短边的波形毛刺

width设置20%

调小lens source

测不同种类的离子束流

关掉scope

调节width使得B1+ 1PA，B3 0.35PA, B++ 0.35PA？

保存参数文件，改日期，选LMIG，此步完成Spectrometry测束流过程

正离子模式聚焦检查

Navigator->A grid ,点 go

调节样品台高度

Navigator->打开SI，调节SI gain以获得最佳亮度

选accept circle，通过调节样品台高度调节accept circel位置

通过调X，Y target确保A grid的SI像和CCD像一致

调lens target和X，Y stigmator来提高清晰度

负离子模式聚焦检查

Navigator->A grid ,点 go

调节样品台高度

Navigator->打开SI，调节SI gain以获得最佳亮度

选accept circle，通过调节样品台高度调节accept circel位置

通过调X，Y target确保A grid的SI像和CCD像一致

调lens target和X，Y stigmator来提高清晰度

保存参数文件，日期改，弹出保存参数，选LMIG，到此步完成Spectrometry模式的聚焦检查

调IMAGING FAST mode

加fast image参数文件，调EX让SU在500~1000V之间

调Lens Source，加Extractor改变量的1/10

LMIG->Source->Scope

ap1手动找中心，并调波形到标准态

ap2点击scope旁边的C自动居中，并调波形到标准态

正离子模式测束流

准备阶段

cycle time 100 μs

打√LMIG

打√DC

Navigator->A grid ,点 go

调大cup电流

先调节X，Y blanking；再调节lens source

保证cup电流＞400PA

保存参数文件，日期改，弹出保存参数，选LMIG，此步完成imaging fast测束流过程

正离子模式聚焦检查

Navigator->A grid ,点 go

调节样品台高度

开启SI像，调节SI gain获得合适的亮度

打开accept circle按钮，通过调节样品台高度调节accept circle位置

通过调节X，Y target来调节SI位置，让SI上的像和CCD上的像相一致

调lens target和X，Y stigmator来调节A字清晰度

保存参数文件，日期改，弹出保存参数，选LMIG

调Ultimate Spectrometry

加Ultimate Spectrometry参数文件，调EX让SU在500~1000V之间

调Lens Source，加Extractor改变量的1/10

LMIG->Source->Scope

ap1手动找中心，并调波形到标准态

ap2点击scope旁边的C自动居中，并调波形到标准态

正离子模式测束流

准备阶段

cycle time 100 μs

打√LMIG

打√DC

Navigator->A grid ,点 go

调大cup电流

先调节X，Y blanking；再调节lens source

保证cup电流＞400PA

保存参数文件，日期改，弹出保存参数，选LMIG，此步完成imaging fast测束流过程

正离子模式聚焦检查

Navigator->A grid ,点 go

调节样品台高度

开启SI像，调节SI gain获得合适的亮度

打开accept circle按钮，通过调节样品台高度调节accept circle位置

通过调节X，Y target来调节SI位置，让SI上的像和CCD上的像相一致

调lens target和X，Y stigmator来调节A字清晰度

保存参数文件，日期改，弹出保存参数，选LMIG

调Ultimate imaging

加Ultimate imaging参数文件，调EX让SU在500~1000V之间

调Lens Source，加Extractor改变量的1/10

LMIG->Source->Scope

ap1手动找中心，并调波形到标准态

ap2点击scope旁边的C自动居中，并调波形到标准态

正离子模式测束流

准备阶段

cycle time 100 μs

打√LMIG

打√DC

Navigator->A grid ,点 go

调大cup电流

先调节X，Y blanking；再调节lens source

保证50PA<cup电流<80PA

保存参数文件，日期改，弹出保存参数，选LMIG，此步完成imaging fast测束流过程

正离子模式聚焦检查

Navigator->A grid ,点 go

调节样品台高度

开启SI像，调节SI gain获得合适的亮度

打开accept circle按钮，通过调节样品台高度调节accept circle位置

通过调节X，Y target来调节SI位置，让SI上的像和CCD上的像相一致

调lens target和X，Y stigmator来调节A字清晰度

保存参数文件，日期改，弹出保存参数，选LMIG

正离子模式测束流思维导图模板大纲

准备阶段

cycle time 100 μs

打√LMIG

调大cup电流

调节lens source&XY blanking使得cup电流最大

消除aperture 1短边的波形毛刺

width设置20%

调小lens source

测不同种类的离子束流

关掉scope

调节width使得B1+ 1PA，B3 0.35PA, B++ 0.35PA

保存参数文件，该日期

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