(1)立案。司法赔偿义务机关在履行赔偿责任之后，对符合追偿范围的工作人员，应当办理立案手续。在决定是否立案时，赔偿义务机关应当对追偿的条件作初步的审查，经审查认为符合司法追偿的范围和条件的，应当按照司法赔偿义务机关的内部工作制度，经主管领导批准，办理立案手续，同时确定办案人员。
(2)调查。司法赔偿义务机关应当调查有关司法追偿范围和条件的事实，收集必要的证据。为此，司法赔偿义务机关可以询问证人，询问被追偿人，向有关的单位和个人调取证据材料。司法赔偿义务机关应当全面调查收集证据，无论其是否有利于被追偿人。被追偿人认为某个证据需要调查的，可以向赔偿义务机关提出申请，但赔偿义务机关不受其申请的约束。
(3)初步决定。办案人员根据调查收集的证据，拟定初步的处理意见。
(4)听取被追偿人的意见。被追偿人有权了解赔偿义务机关掌握的证据材料和初步的处理意见，有权提供证据，表达个人对追偿的意见和要求，特别是有关追偿的数额和履行期限的意见和要求。对有关的证人，被追偿人有权进行质辩。
(5)作出决定。办案人员在听取了被追偿人的意见之后，应当修改或者重新拟定处理意见，报请主管领导批准。作出决定必须说明追偿的法律依据和事实根据，即说明追偿的理由，以方便被追偿人申诉和上级机关监督。
(7)申诉。被迫偿人对作出决定不服的，可以向司法赔偿义务机关的上一级机关申诉，但申诉期间不停止执行作出决定。
(8)执行。被追偿人无正当理由不按照作出决定规定的期限和方式履行追偿义务的，司法赔偿义务机关可以采取执行措施。由于被追偿人是公安司法机关工作人员，而且公安司法机关的职权不一致，关于司法赔偿义务机关是否有权直接对被迫偿人采取强制执行措施，有待进一步探讨。
