四氯化硅是无色透明液体,纯度稍低的呈现微黄或者淡黄色,有窒息性气味。常温常压下密度1.48,熔点-70℃,沸点57.6℃,沸点随着压力增高而增高。在潮湿空气中水解而成硅酸和氯化氢。
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